Azoto trifluorido (NF3) didelio grynumo dujos
Pagrindinė informacija
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Kas tai per medžiaga?
Azoto trifluoridas (NF3) yra bespalvės ir bekvapės dujos kambario temperatūroje ir atmosferos slėgyje. Jis gali būti suskystintas esant vidutiniam slėgiui. NF3 yra stabilus normaliomis sąlygomis ir lengvai nesuyra. Tačiau jis gali suirti veikiamas aukštoje temperatūroje arba esant tam tikriems katalizatoriams. NF3 išleidžiamas į atmosferą turi didelį visuotinio atšilimo potencialą (GWP).
Kur naudoti šią medžiagą?
Valymo priemonė elektronikos pramonėje: NF3 plačiai naudojama kaip valymo priemonė likutiniams teršalams, tokiems kaip oksidai, pašalinti nuo puslaidininkių, plazminių ekranų plokščių (PDP) ir kitų elektroninių komponentų paviršių. Jis gali efektyviai nuvalyti šiuos paviršius jų nepažeisdamas.
Odinimo dujos puslaidininkių gamyboje: NF3 naudojamos kaip ėsdinimo dujos puslaidininkių gamybos procese. Jis ypač efektyvus ėsdinant silicio dioksidą (SiO2) ir silicio nitridą (Si3N4), kurie yra įprastos medžiagos, naudojamos integrinių grandynų gamyboje.
Didelio grynumo fluoro junginių gamyba: NF3 yra vertingas fluoro šaltinis gaminant įvairius fluoro turinčius junginius. Jis naudojamas kaip pirmtakas gaminant fluorpolimerus, fluoro angliavandenilius ir specialias chemines medžiagas.
Plazmos generavimas plokščiųjų ekranų gamyboje: NF3 naudojamas kartu su kitomis dujomis plazmai sukurti gaminant plokščiuosius ekranus, tokius kaip skystųjų kristalų ekranai (LCD) ir PDP. Plazma yra būtina nusodinimo ir ėsdinimo procesuose plokščių gamybos metu.
Atminkite, kad konkrečios šios medžiagos/produkto naudojimo paskirtys ir taisyklės gali skirtis priklausomai nuo šalies, pramonės ir paskirties. Visada laikykitės saugos nurodymų ir pasitarkite su ekspertu prieš naudodami šią medžiagą/produktą bet kokiais tikslais.
